Sistem pengolahan udara untuk ruang bersih disebut sistem tata udara pemurnian dalam standar Tiongkok GB 50073-2013 (desain ruang bersih). Berbeda dengan AC kenyamanan, sistem ini tidak boleh hanya mengurus suhu dan kelembapan; ia harus menjaga tiga sasaran sekaligus: kebersihan, suhu/kelembapan, dan beda tekanan ruang. Peralatan inti sistem terpusat adalah AHU modular.
Menurut GB/T 14294-2008, AHU modular adalah peralatan pengolah udara yang dirakit dari seksi-seksi fungsi, untuk sistem dengan hambatan minimal 100 Pa. Menurut kegunaan, standar membaginya menjadi unit umum, unit udara segar, unit pemurnian, dan unit khusus; pabrik ruang bersih memakai unit pemurnian.
1. Pilih konfigurasi sistem dulu: tiga jalur yang umum
| Konfigurasi | Penggunaan | Ciri |
|---|---|---|
| AHU satu tahap udara balik + saluran + terminal HEPA | ISO kelas 6–8 | Investasi rendah; suhu dan kelembapan dikendalikan bersama dalam satu loop udara balik |
| MAU + FFU + DCC | ISO kelas 1–5 dan presisi tinggi | MAU (unit udara segar) menetapkan titik embun, DCC (koil kering) menangani panas sensibel, FFU (unit kipas-filter) menutupi plafon |
| MAU + RAU (unit sirkulasi) | Pabrik multi-ruang dengan kondisi sangat berbeda | Satu unit sirkulasi untuk satu zona, pembagian zona fleksibel |
Sebagian besar area perakitan elektronik dan area penunjang farmasi memakai konfigurasi pertama, sehingga bagian berikut mengikuti jalur AHU satu tahap udara balik.
2. Seksi dipilih sesuai kebutuhan, tetapi urutannya punya logika
AHU tidak memiliki susunan seksi yang tetap. GB/T 14294-2008 mencantumkan pencampuran, penyeragaman aliran, filtrasi, pendinginan, pemanasan primer dan sekunder, penurunan kelembapan, pelembapan, kipas suplai, kipas balik, semprotan air, peredam suara, dan pemulihan panas; proyek memilih berdasarkan beban, rasio udara