Hệ thống xử lý không khí cho phòng sạch được tiêu chuẩn Trung Quốc GB 50073-2013 (thiết kế phòng sạch) gọi là hệ thống điều hòa làm sạch. Khác với điều hòa tiện nghi, nó không thể chỉ lo nhiệt độ và độ ẩm mà phải giữ cùng lúc ba chỉ tiêu: độ sạch, nhiệt độ/độ ẩm và chênh áp phòng. Thiết bị cốt lõi của phương án tập trung là AHU dạng tổ hợp.
Theo GB/T 14294-2008, AHU tổ hợp là thiết bị xử lý không khí lắp ghép từ các khoang chức năng, dùng cho hệ thống có trở lực từ 100 Pa trở lên. Tiêu chuẩn chia theo công dụng thành loại thông dụng, loại xử lý gió tươi, loại làm sạch và loại chuyên dụng; nhà xưởng sạch dùng loại làm sạch.
1. Chọn cấu hình hệ thống trước: ba phương án phổ biến
| Cấu hình | Phạm vi áp dụng | Đặc điểm |
|---|---|---|
| AHU hồi gió một cấp + ống gió + miệng thổi HEPA | ISO cấp 6–8 | Đầu tư thấp; nhiệt độ và độ ẩm được điều khiển liên kết trong một vòng hồi gió |
| MAU + FFU + DCC | ISO cấp 1–5 và yêu cầu độ chính xác cao | MAU (thiết bị xử lý gió tươi) quyết định điểm sương, DCC (dàn lạnh khô) gánh nhiệt hiện, FFU (bộ quạt lọc) phủ kín trần |
| MAU + RAU (thiết bị tuần hoàn) | Nhà xưởng nhiều phòng, điều kiện chênh lệch lớn | Mỗi thiết bị tuần hoàn phục vụ một khu, phân vùng linh hoạt |
Phần lớn xưởng lắp ráp điện tử và khu phụ trợ dược phẩm dùng phương án thứ nhất, nên phần sau đi theo hướng AHU hồi gió một cấp.
2. Các khoang chức năng ghép theo nhu cầu, nhưng thứ tự có logic
AHU không có bộ khoang cố định. GB/T 14294-2008 liệt kê các khoang: hòa trộn, phân bố đều, lọc, làm lạnh, gia nhiệt cấp một và cấp hai, tách ẩm, tạo ẩm, quạt cấp, quạt hồi, phun nước, tiêu âm và thu hồi nhiệt; dự án chọn theo tải, tỷ lệ gió tươi và cấp lọc. Cấu hình điển hình cho xưởng ISO 7: hòa trộn, lọc thô, dàn lạnh, gia nhiệt lại, tạo ẩm, quạt, lọc trung bình; thêm tiêu âm quanh quạt theo yêu cầu tiếng ồ