Temperatur und Feuchte im Reinraum sind zwei unabhängige Zielgrößen, werden aber oft wie eine behandelt: Ist es zu warm, wird mehr gekühlt; ist es zu feucht, ebenfalls. Mehr Kälte senkt zwar die Temperatur und entfeuchtet, doch die unterkühlte Luft muss wieder nachgeheizt werden – der Energieverbrauch vervielfacht sich, und die Feuchte erreicht trotzdem nicht unbedingt den Sollwert.
Das eigentliche Problem ist das falsche Kriterium. Ob sich die Feuchte halten lässt, hängt davon ab, ob der Apparatetaupunkt der Zuluft unter dem Taupunkt der Raumluft liegt – das ist eine andere Frage als die Kaltwasser-Vorlauftemperatur.
1. Leistungsgrenzen der drei gängigen Wege
| Weg | Typischer Bereich relative Raumfeuchte | Prinzip | Hauptkosten |
|---|---|---|---|
| Kühlregister-Entfeuchtung + Nachheizung | ca. 45 %–65 % | Ein Kaltwasserregister kühlt die Luft unter den Taupunkt, Wasser kondensiert, danach Nachheizung auf Zulufttemperatur | Nachheizenergie; Kaltwasser muss kälter als der Zieltaupunkt sein |
| Register + Sorptionsrad | ca. 30 %–45 % | Register kühlt und entfeuchtet vor, das Rad entfeuchtet tief | Regenerationsenergie des Rads; die Regenerationswärme bestimmt die Betriebskosten |
| Sorptionsrad-geführt | unter ca. 30 % | Das Rad adsorbiert Feuchte, auf der Regenerationsseite wird sie durch Erwärmung desorbiert | Hohe Regenerationsenergie; stabile Regenerationswärmequelle nötig |
Die drei Wege ersetzen einander nicht, sondern teilen sich die Feuchtebereiche: normale Fertigungen meist der erste, Niedrigfeuchte-Prozesse der zweite, Ultra-Niedrigfeuchte der dritte.
2. Das Kriterium: Apparatetaupunkt gegen Raumtaupunkt
Ob ein Weg funktioniert, entscheidet ein einziger Vergleich: Liegt der Apparatetaupunkt der Zuluft unter dem Taupunkt der Raumluft?
Liegt der Zulufttaupunkt