PCW (process cooling water, น้ำหล่อเย็นหมุนเวียนในกระบวนการ) ในโรงงานคลีนรูมคือวงจรทุติยภูมิสำหรับเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนของเครื่องจักรกระบวนการ ไม่ใช่น้ำเย็นระบบปรับอากาศหรือน้ำหมุนเวียนหอหล่อเย็นทั่วไป ระบบต้องสะอาดภายในท่อ คุณภาพน้ำคงที่ ความดันนิ่ง ควบคุมอุณหภูมิได้แม่นยำ ป้องกันการกัดกร่อนและการเกิดตะกรัน และไม่มีรอยรั่ว วงจรปฐมภูมิ (น้ำเย็นหรือน้ำหล่อเย็น) ต้องแยกจาก PCW ด้วยเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบแผ่น ท่อส่วนใหญ่ใช้สแตนเลส 304 หรือ 316L เชื่อม TIG และต้องเป่าอาร์กอนภายในท่อ จะต่อปากเครื่องจักรได้เมื่อการทดสอบความดัน การเป่าไนโตรเจน การล้างท่อแบบหมุนเวียน และการพาสซิเวชัน/สร้างฟิล์มป้องกันผ่านเกณฑ์แล้วเท่านั้น
ปัญหาที่แพงที่สุดมักไม่โชว์บนจอห้องปั๊ม แต่เกิดภายในท่อ หากรากแนวเชื่อมออกซิไดซ์จนดำ ชั้นออกไซด์จะลอกต่อเนื่องระหว่างเดินเครื่องแล้วอุดเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนของเครื่องจักร หากต่อเครื่องก่อนการล้างท่อผ่านเกณฑ์ อนุภาคจะเข้าช่องหล่อเย็นความเที่ยงตรงโดยตรง ค่าแก้ไขภายหลังมักสูงกว่าการทำเป่าอาร์กอน ความลาด การทดสอบความดัน และการล้างท่อให้ถูกต้องตั้งแต่ครั้งแรก
บทความนี้อธิบายจุดควบคุมงานก่อสร้าง PCW ที่ควรเขียนลงในใบชี้แจงและเอกสารส่งมอบ จากมุมของ NUNXIN (暖心自控) ด้านอุณหภูมิ ความชื้น และการควบคุมในโรงงานคลีนรูม ไม่ได้อ้างกรณีหน้างานของบุคคลที่สาม ความลาดท่อและการทดสอบไฮโดรสแตติกเทียบกับมาตรฐานชาติที่เผยแพร่แล้ว ข้อกำหนดความนิ่งของอุณหภูมิฝั่งเครื่องจักรเป็นไปตามเอกสารออกแบบและสเปกเครื่องจักร ตัวเลขที่ยังไม่ได้ประกาศบนเว็บไซต์จะไม่ถูกเขียนเป็นค่าการรับประกันของผลิตภัณฑ์ NUNXIN
PCW ต่างจากน้ำเย็นทั่วไปอย่างไร และทำไมต้องแยกสองวงจร?
PCW คือวงจรทุติยภูมิที่ป้อนเครื่องจักรกระบวนการ ฝั่งปฐมภูมิมักเป็นน้ำเย็นหรือน้ำหล่อเย็น ทั้งสองฝั่งควรแยกด้วยเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนแบบแผ่น มีวาล์วและไส้กรองของตนเอง เพื่อไม่ให้น้ำปนกัน เมื่อพัฒนารูปแบบท่อ ควรจัดระบบไป-กลับแบบย้อนกลับ (reverse-return) เพื่อลดการแย่งน้ำและความไม่สมดุลทางไฮดรอลิก ท่อทุติยภูมิในพื้นที่สะอาดควรเว้นวาล์ว ปากเป่า และปากเก็บตัวอย่าง รวมทั้งกำหนดจุดระบายอากาศและจุดระบายน้ำให้ชัด ลูกศรทิศทางน้ำจ่าย/น้ำกลับต้องชัดเจน ท่อบนสูงและใต้แผ่นพื้น waffle ควรวางให้ตรวจหารอยร