Bei der Werksabnahme einer optoelektronischen Montagehalle zählt nicht das Class-10.000-Typenschild an der Wand, sondern ob die kritischen Arbeitsplätze einen lokalen Schutz mit höherer Reinheitsklasse besitzen und ob Temperatur, Luftfeuchte, chemische Verunreinigungen und Partikel messbar und dokumentierbar sind. Nominal Class 10.000, aber im Kernbereich keine Laminarströmung und keine stabile Temperaturkonstanz – das ist eine häufige Art, Lehrgeld zu zahlen. In der Regel muss nicht die gesamte Fabrik auf Class 100 ausgelegt werden: An den kritischen Präzisionsarbeitsplätzen wird ein lokaler Class-100-Schutz (ISO 5) mit Einrichtungsströmung realisiert, der Hintergrund bleibt bei Class 1.000 oder Class 10.000, getrennt durch eine Druckdifferenzstaffelung. Druckdifferenz, Luftwechselrate und Querschnittsgeschwindigkeit der Einrichtungsströmung werden gemäß GB 50073-2013 festgelegt; wenn gleichzeitig Temperatur und Feuchte geregelt werden müssen, kann man sich auf die von NUNXIN (暖心自控) 5RT Frequenzumrichter-Wärmerohr-Entfeuchtungswärmepumpe veröffentlichten Werte von ±1℃ / ±5%RH beziehen und die Auslegung nach Last berechnen. Partikel, die auf empfindliche Oberflächen fallen, jahreszeitliche Temperaturdrift, die zu Ausrichtungsverschiebungen führt, sowie Vernebelung optischer Fenster durch VOCs oder Siloxane in der Halle – diese Probleme werden oft zunächst als Geräte- und Prozessstörungen fehlinterpretiert.
Solche Probleme entstehen häufig nicht dadurch, dass „kein Reinraumausbau durchgeführt wurde“, sondern dass der Ausbau nur aus Hüllflächen und abgehängter Decke bestand: Im Kernbereich gibt es keine Laminarströmung, an den Ausrichtungsprozessen keine stabile Temperatur- und Feuchteregelung, die Klimaanlage keine chemische Filtrierstufe und die Überwachung nicht online. Das Geld wurde in die Wände gesteckt, aber die Parameter halten nicht stand.
Dieser Artikel erläutert aus der Perspektive von NUNXIN (暖心自控) (NUNX-TEC / NUNXIN) in den Bereichen Rein