光学電子組立工場の驗廠（工場監査）で見られるのは、壁の万級表示板ではなく、核心作業ステーションに局所高等級保護があるかどうか、温湿度・化学汚染物質・粒子が測定・記録できるかどうかです。名目上は万級でも、核心区に層流と安定した恒温がないのは、よくある無駄な出費の仕方です。通常、工場全体を百級にする必要はありません。核心精密ステーションは局所百級（ISO 5）の一方向流保護とし、背景は千級または万級を維持し、圧差勾配で区切ります。圧差、換気回数、一方向流断面風速は GB 50073-2013 に基づいて取值します。同時に温湿度制御が必要な場合は、NUNXIN (暖心自控) 5RT 変頻ヒートパイプ除湿ヒートポンプの公表値 ±1℃ / ±5%RH を参考にし、負荷に応じて核算します。粒子が感光面に付着する、季節の温度変動によるアライメント偏移、工場内の VOC やシロキサンによる光学窓の曇り、これらの問題はしばしばまず設備やプロセスの故障と見なされます。
このような問題は多くの場合、「クリーンルーム装修をしていない」ことではなく、装修が囲護構造と天井だけになっていることがよくあります。核心区に層流がなく、アライメント工程に安定した恒温恒湿がなく、空調システムに化学フィルタ段がなく、監測もオンラインではありません。お金は壁に使われ、パラメータは成立していません。
本稿では、NUNXIN (暖心自控)（NUNX-TEC / NUNXIN）がクリーン空調、恒温恒湿、監測制御を行う観点から、光学電子組立工場におけるいくつかの一般的な環境失效と、契約書に明記すべきゾーニング、気流、温湿度、監測要件を明確に説明します。本文では第三者の工場の不良率や受注結果は引用しません。圧差、換気回数、断面風速は GB 50073-2013 に基づいて照合し、温湿度能力は公式サイトで公表済みの製品パラメータのみを引用し、プロジェクト負荷に応じて核算する必要があります。
光学電子組立の不良は、設備・プロセス問題か、それとも空気環境が原因か？
光学電子組立で不良が出ると、まず設備メーカーとプロセス技術者に原因を求めることが多い。設備メーカーは設備に問題はないと言い、プロセス側は接着剤とパラメータを何度か調整したが、季節が変わると問題が再発する——こうした状況では、まず立ち止まって環境を確認する価値がある。
カメラ、光学モジュール、レーダー生産ラインで比較的典型的な、環境による三種類の故障要因：
- 粒子汚染。イメージセンサーの受光面に組立過程中に微小な塵が付着し、顧客先で初めて画素欠陥として現れる。肉眼では見えない粒子でも、一ロットのモジュールが返品されるには十分だ。
- 温湿度変動。アクティブアライメントはミクロン級の位置合わせであり、接着剤や構造部品の硬化応力は温湿度とともに変化する。安定した恒温恒湿保護がなければ、季節的な温度ドリフトにより偏移不良が繰り返し発生し、プロセスが不安定に見えるが、根本は空気パラメータが変動していることにある。
- 化学汚染。レーザーレーダーや光学窓が信頼性試験後に曇り、顧客に拒否されることがあるが、これは拭き取りが不十分なのではなく、工場空気中のVOCやシロキサンが表面に堆積している場合がある。空調システムに化学フィルター段がまったくない場合、信頼性試験設備がどんなに整っていても、「汚れた環境で組み立てられた製品」を測定しているに過ぎない。
工場監査も同じくデータと等級を重視し、壁の看板は認めない。監査員は主要工程が約定の清浄度（例えば組立エリアの局所クラス100、すなわち概ねISO 5に相当する一方向流保護）を達成しているか、リアルタイム監視曲線を確認する。ハードウェアがなく、曲線もなければ、是正通知が出る。
業界にはさらに典型的な空殻的手法がある：普通の部屋に分離型エアコンを追加して清浄室と偽る；図面にクラス100、クラス1000と書いて、1台のユニットで異なる等級のエリアを強引に連結し、測定するとどちらにも合致せず、その後2〜3ヶ月かけて分解改修する。後者の状況については、『モジュール式クリーンルームの失敗回避ガイド：組立式、機能室、クリーンブースをまず区別し、受入基準は下げられない』でも書いている。光学電